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HORIBA SEC-N100氣體流量控制器
[在線咨詢]2018-6-7 20:28:08
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HORIBA SEC-N100氣體質(zhì)量流量控制器

HORIBA SEC-N100提供多種不同類型的氣體質(zhì)量流量控制器以滿足客戶不同的需求。所有氣體質(zhì)量流量控制器都擁有高精度、快速響應(yīng)的特性。多種不同類型的氣體質(zhì)量流量控制器皆擁有寬泛的流量范圍,客戶可選擇最適合的類型。HORIBA可提供三種閥門,客戶可選擇熱式閥門、電磁線圈閥門、或者壓電陶瓷閥。同樣HORIBA也可提供多種不同的通訊方式,包括模擬式、數(shù)字式、DeviceNet? (*1), 以及PROFIBUS?(*2) (取決于產(chǎn)品型號)。HORIBA氣體質(zhì)量流量控制器的流量范圍可覆蓋微量流量直至超大流量。
*1 Devicenet是一種通訊方式的標志。
*2 PROFIBUS是一種國際化的通訊方式標志。

HORIBA SEC-N100質(zhì)量流量控制器

HORIBA SEC-N100系列適用于多種不同的產(chǎn)業(yè)應(yīng)用。HORIBA SEC-N100可實現(xiàn)大范圍控制從10SCCM至1000SLM。此款MFC包含多種不同通訊方式(數(shù)字式/模擬式, CC-Link®, PROFIBUS?, 以及 EtherCAT®),高精度(± 1.0% S.P. *包括SEC-N177R),快速響應(yīng)。同時SEC-N100這款MFC支持多氣體/多量程功能,有效減少客戶成本。

HORIBA SEC-N100質(zhì)量流量控制器特征
大范圍控制,從微小流量至大量程,10SCCM~1000SLM
多種通訊方式及電源供給

HORIBA SEC-N100氣體質(zhì)量流量控制器
HORIBA氣體質(zhì)量流量控制器SEC-N100

型號

選擇通訊方式 選擇供電方式
SEC-N102 系列
數(shù)字式信號傳輸


?RS485 F-NET協(xié)議 模擬式通訊 ?0~5VDC
HORIBA可提供PE系列供應(yīng)電源
SEC-N104 系列 DeviceNet? 通訊 符合ODVA標準
SEC-N105 系列 CC-Link®通訊 模擬式通訊

?0 to 5VDC, 0 to 10VDC 4 to 20mA

符合  CC-Link®標準 24VDC(13 ~ 32VDC)

SEC-N106系列
PROFIBUS? 通訊方式
符合PROFIBUS? 標準 24VDC(13 to 32VDC)
模擬式通訊
?0 to 5VDC, 0 to 10VDC 4 to 20mA
SEC-N107系列 EtherCAT® 通訊方式 符合EtherCAT®標準 24VDC ± 4v

HORIBA SEC-N100氣體質(zhì)量流量控制器


SEC-N100 系列高精度
■高精度(設(shè)定點為基準)MFC的線性度將由近似多項式曲線進行補償。這幫助實現(xiàn)了對所有流量控制范圍的高精度控制。為了實際氣體流量的準確性進一步提高,各種工藝氣體的校準數(shù)據(jù)將按照HORIBA STEC標準的氣體測量系統(tǒng)進行校驗。

 

整個流量控制范圍內(nèi)都可實現(xiàn)高響應(yīng)速度
■Newly variable PID algorithm: 1 second high-speed response新的可變PID運算法則:1秒高速響應(yīng)SEC-N100 系列搭載了新開發(fā)的“可變PID系統(tǒng)”,對于所有設(shè)置點它可以實現(xiàn)1秒內(nèi)的響應(yīng)速度。當您改變標定滿量程和氣體種類時,可變PID將根據(jù)當下的設(shè)定點不斷變化,其PID參數(shù)也將隨之被優(yōu)化。              

多氣體、多量程的解決方案
■專用的軟件賦予用戶可以自由更改規(guī)格的能力新的多氣體、多量程系統(tǒng)使用戶自由變更氣體種類和量程成為可能。

致力于成本考量,運用新的設(shè)計概念
作為N100系列的替代,HORIBA STEC也可以提供具備超潔凈處理以及壓電陶瓷閥門的Z500系列產(chǎn)品。請注意,在沒有通知的情況下,可能會對某些需要提高生產(chǎn)率的部件和產(chǎn)品工藝做出修改,但不會牽涉到改變產(chǎn)品的規(guī)格。


HORIBA SEC-N100氣體質(zhì)量流量控制器選型表下載(pdf文檔)

/upload/201806/07/201806072053025441.pdf


HORIBA SEC-N100氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品介紹:(英文版)

/upload/201806/07/201806072053511701.pdf


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